二手 VERTEQ 2600 #9144776 待售

VERTEQ 2600
製造商
VERTEQ
模型
2600
ID: 9144776
晶圓大小: 6"
Megasonic cleaner, 6".
VERTEQ 2600是來自VERTEQ Technologies的下一代光刻膠設備。利用先進的成像技術,該系統能夠產生高精度或高容量的光致抗蝕劑圖樣,無論基材是什麼形狀、形狀還是位置。它能夠產生極高清晰度的具有微觀尺寸特征大小和精確度的光刻膠圖案。2600光刻裝置采用激光成像機,由光學數字顯微鏡精確引導。激光束被逐個區域定向到光掩模,有選擇地暴露光掩模的某些區域,並在光刻膠中形成圖樣。然後對光刻膠進行顯影劑處理以去除暴露的區域,這可以作為進一步發展裝置特性的基礎。VERTEQ 2600可用於在極薄的光阻層上創建精確的圖樣,如微電子和MEMS應用所需的圖樣。2600工具還使用高度先進的成像軟件從復雜的用戶定義設計中創建光掩碼。該軟件能夠自動識別設計的特征,並以極高的分辨率和準確性生成所需的相應圖樣。然後將光掩模轉移到光敏鑄造基板上,該基板放置在VERTEQ聚焦階段,然後使用激光資產逐層成像光掩模。通過使用VERTEQ 2600,用戶能夠受益於高度精確的圖像和更好的光刻膠圖樣過程控制。2600光刻膠模型是光掩模、圖樣傳輸、光刻、平面化和其他先進電子應用的理想選擇。其全面的功能集和先進的成像功能使其成為尋求精密光刻膠圖案解決方案的制造商的理想選擇。該設備可靠、易於使用、經濟高效,是任何需要高容量精確光刻圖樣的應用的絕佳選擇。
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