二手 VERTEQ DT 560M #124425 待售

VERTEQ DT 560M是一種用於先進光刻工藝的精密數字透射光刻設備.它旨在實現高分辨率的光拋光,以實現難以置信的緊密特征和密度。該系統具有獨特設計的光學組件,是一種由計算機控制的無線工具,可提高準確性和可重復性。DT 560M具有廣闊的視野，分辨率高達10微米，適合廣泛的精密光刻工藝。成像單元具有很長的動態範圍，提供高量子效率和廣泛的曝光緯度。激光二極管提供非常精確的照明控制，帶有可調節的擴散鹵素光源，用於集成晶片。VERTEQ DT 560M配備了專利光劑量控制單元，可幫助準確、精確地調整每個過程的曝光時間和激光強度。該機還提供了一個界面，用於自動光曝光控制。這使機器操作員能夠為所需的輸出精確設置曝光過程的參數。DT 560M工具還提供精確對齊功能以及用戶友好、直觀的圖形用戶界面。該資產提供了精確的5軸運動編碼，專利的自動對齊方法被設計為提供準確的交叉晶圓對齊。這樣可以確保無論晶圓大小如何,陣列都能正確對齊。最後，該模型包括自動晶片處理軟件，該軟件可優化光刻膠制圖工藝。這使得VERTEQ DT 560M一種高效可靠的光刻設備,用於創建具有非常嚴格公差的高分辨率光掩模。該軟件還設計用於在操作過程中出現任何問題時輕松排除故障。