二手 VERTEQ Etch Processor #142255 待售

VERTEQ蝕刻處理器（PERTEQ Etch Processor）是一種光刻設備，用於在硬質基板上進行精確蝕刻和雕刻，如金屬和硬質塑料。該系統堅固而高效的設計使其能夠在高達90°C的溫度下工作,並具有一系列強度高達T6的合適材料。它還包括一種獨特的層層形成技術，在非常薄的基板和低k介電材料上提供均勻蝕刻。蝕刻處理器由三個主要組件組成：電解放電單元、光路單元和陽極蝕刻單元。電解放電單元用於在圍繞基板的浴中產生電流。然後，該電流被用於激活光刻材料，其中暴露的部分變為導電，未暴露的部分保留其絕緣特性。光路單元負責將光源與基板分離，並以受控模式將光聚焦到抗蝕劑材料上。這樣可以在目標材料中進行精確的光圖樣和蝕刻圖樣。最後，陽極蝕刻單元負責底物材料的實際蝕刻，因為施加的電流水平導致材料中的氧化反應。VERTEQ蝕刻處理器還包括溫度控制、壓力控制和濕度控制單元,以確保蝕刻參數保持在指定範圍內。此外，該單元還包括一個閉環反饋機，它可以連續監測蝕刻過程並相應調整陽極電流水平。短路保護、斷路監控資產等工具安全功能也已到位。整套工具和機構使Etch Processor成為電子包裝、染料傳感和鐵電應用的理想工具。這種可靠高效的微蝕刻模型可用於將復雜復雜的形狀蝕刻到各種硬質基板上，具有優異的特性和業界領先的精確度。