二手 VERTEQ MCS-2600-3A-UCX #9196057 待售

VERTEQ MCS-2600-3A-UCX光刻設備是為先進的光刻應用而設計的最先進的生產工具。它利用一種專利的聲學耦合散熱器技術，在光刻膠表面均勻分布熱量。通過在整個光刻層上保持均勻的溫度場，該系統能夠產生高度精確的光刻圖樣，並提高了細節和精度。MCS-2600-3A-UCX有一個雙隔間單元，一個腔室裝有聲學散熱器，另一個腔室裝有基於二甲基氰化物（DMAC）的光致抗蝕劑。這兩個元件由一個聲學換能器耦合，它將散熱器產生的熱量傳遞到光刻膠中。兩個腔室都是單獨溫度控制的，以確保在延長運行期間具有一致的抵抗溫度。VERTEQ MCS-2600-3A-UCX能夠產生定義明確的光刻蝕刻圖樣，其臨界尺寸小至0.4微米。該機器具有許多過程自動化功能，例如具有自動裝卸能力的全自動曝光室和全面的用戶監控能力。適用於一系列應用，包括半導體制造、LED和光學元件的模式生成以及液晶顯示器的生產。除了提供卓越的性能和可靠性外,MCS-2600-3A-UCX還被設計為先進光刻應用的經濟高效的解決方案。由於組件的強大設計,該工具提供了最大的資產正常運行時間和較低的維護成本。該模型還能夠通過高分辨率成像高速生產光刻模板。VERTEQ MCS-2600-3A-UCX是一種先進的光刻設備,旨在為最復雜的光刻工藝提供最佳性能、可重復性和可靠性。它利用一種獲得專利的聲學耦合散熱器技術來維持均勻的抗蝕性溫度，並且能夠產生定義明確、臨界尺寸小至0.4微米的光刻蝕刻圖樣。該系統提供可靠的性能和經濟效益,使其成為高級光刻應用的理想解決方案。