二手 VERTEQ SC1600-3 #293592052 待售
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VERTEQ SC1600-3是一種光致抗蝕劑設備，常用於光學元件的制造和薄膜沈積。它具有最先進的高功率和均勻性的光學投影系統，以便在各種基板上應用精確的圖樣。SC1600-3光刻裝置包括高分辨率掃描導線頭和精密光學器件以及一個軟件包,允許用戶處理復雜的矢量和光柵設計。該機提供1800瓦功率的三步式脈沖工具，以確保光刻膠層的均勻移位。資產的頂層是配備多達8個線性掃描軸的板，可以單獨控制。晶圓移動模型（WMS）可確保精確的基板定位,即使使用大型晶圓也是如此。它具有集成的快門機構和冷卻設備，以防止過熱。VERTEQ SC1600-3具有高精度階段進料,可用於多種基材,吞吐量高達450 um/s,可重復精度為30 um。它還包括一個快速聚焦優化功能,它使用戶能夠快速調整投影光學器件,以實現兩次曝光之間的最佳聚焦。得益於可調節的光掩模支架和電動光源，用戶可以快速、輕松地在不同的光掩模之間切換。此外,系統還可以通過一整套數字過程控制功能以及一系列特定於工具的功能（包括自動對焦、對準、對準和掃描）手動或自動操作。SC1600-3還具有廣泛的過程控制功能,允許用戶針對每種基材類型和材料自定義其過程。這些包括標線載荷、光刻膠應用、曝光控制、對準和配準控制、蝕刻和開發。它還支持各種基材類型的廣泛抗性材料和厚度，包括聚酰亞胺、石英和氧化錫氙（ITO）。為了確保最終產品的最高質量，VERTEQ SC1600-3還包括各種診斷和監控功能，如均勻性映射、臨界維度分析和透射率。其軟件界面允許用戶對定制配方進行編程，並實時生成報告。總之，SC1600-3是高精度、高密度光刻加工的理想工具。其強大的設計、多用途的數字化過程控制能力和快速的處理速度使其成為光學元件制造和薄膜沈積的理想選擇。
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