二手 VERTEQ ST600-41L #293597566 待售

VERTEQ ST600-41L光致抗蝕劑設備是一種先進的系統，旨在處理光致抗蝕劑遮罩材料並提供可靠的結果。這一單元由先進的光刻、計量和跟蹤工具組成，並設有真空光對齊器，旨在減少缺陷和提高產量。ST600-41L光刻機是一種具有以下特點的先進工具：多層光刻加工：VERTEQ ST600-41L資產能夠同時處理多達四個光刻層。這意味著可以很容易地產生復雜的結構和特征。此外,該模型還可以處理厚膜和薄膜,從而減少了對額外薄膜工藝的需求。亞微米分辨率：該設備擁有行業領先的0.2微米分辨率，確保光刻膠處理過程中的最高精度。該系統可以方便地處理寬度和高度為0.2微米的多層結構。Automated True Focus Metrology Unit： ST600-41L包括一臺automated true-focus metrology machine,它使用戶能夠在很大的範圍內準確測量陣列的光學焦點。這樣可以提高線寬和均勻性。平面內級控制：高度精確的平面內級控制可確保在廣域內具有一致的模式重復精度（CD均勻性）。這減少了手動修飾的需要。臭氧和紫外線綜合暴露工具：臭氧和紫外線綜合暴露資產可確保在暴露光刻膠層時達到最佳一致性。高精度GY軸：高精度GY軸提供精確的定位,便於處理晶圓級特征。此軸可以使用auto-shim要求精確對齊。機器人裝載機：機器人裝載機允許用戶快速準確地將晶片裝入和卸出模型。這樣可以減少傳輸錯誤,並最大程度地減少總體處理時間。流程跟蹤軟件：流程跟蹤軟件使用戶能夠一致跟蹤晶圓處理的進度。這樣可以確保最終產品滿足客戶的要求。VERTEQ ST600-41L Photoresist Equipment是一個先進的系統,具有強大的功能,能夠可靠地生產具有提高產量的光刻膠口罩。它的多層處理能力、亞微米分辨率和自動化的真實焦點計量單元能夠高精度地生產復雜的模式和特征。此外，其集成的臭氧和紫外線暴露機、高精度GY軸、機器人裝載機和過程跟蹤軟件有助於減少過程時間和錯誤。