二手 VERTEQ ST600-42T #9126464 待售
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VERTEQ ST600-42T是一種適合高精度圖樣設計需要的專用光刻設備。這個系統是圍繞一個裝有完全集成掃描隧道顯微鏡(STM)的沈積室建造的。STM探針可用於在固化過程、自動對準過程和其他關鍵操作過程中註入和監控光敏材料。這樣可以確保以高達1納米的精度來保持抗蝕性厚度和輪廓。設備先進的運動控制系統和精心設計的軟件使用戶能夠生成精確的圖案,即使在曲面上也是如此。該單元還支持多層陣列,並可控制空間、高度、寬度、方向和大小。這確保了模式可以應用到基板上以滿足任何給定應用程序的規範。ST600-42T裝有氣冷氙燈。此功能允許用戶調整電源輸出和曝光周期以匹配其工藝參數。此外,內置的光學對齊機可幫助用戶精確對齊和控制模式,從而提高精度。該工具還包括高速基板裝載機。此加載程序使用戶能夠在基板之間快速切換,從而減少停機時間和磨損。該資產專為潔凈室環境設計,具有一系列安全功能,包括防毒面具和滅火模型。VERTEQ ST600-42T能夠提供優異的性能和高產率。憑借多年的光刻經驗,VERTEQ工程師設計了一種能夠滿足最苛刻的陣列要求的設備。對於任何需要在大面積和/或薄基板上對高精度抗蝕層進行陣列化的企業,強烈建議使用該系統。
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