二手 VERTEQ ST600 #9096618 待售

VERTEQ ST600是為微電子工業中使用的晶片上光敏樹脂的精確激光束曝光而設計的光阻設備。它基於步進原理,具有高達6英寸的磁場大小和高達600 mm/s的步進運動速度。該系統還配備了一個集成電源,可調節功率水平和脈沖長度,以便對曝光過程進行精確控制。該單元由多個組件組成，包括帶有集成激光源的步進器、對象表和晶片支架。步進器和激光源與標準激光源兼容，如HeNe、CO2和Ar設計。步進器可在晶片表面上創建超精細圖像,最小特征大小為0.3 μ m。對象表用於在曝光期間將晶片固定在適當的位置,而晶片支架則用於將晶片固定在適當的位置。該機還設有集成成像和控制軟件，允許操作員對步進器和激光源設置進行編程、調整和觀察。該軟件允許用戶輕松創建圖像，調整曝光和激光點大小，以及程序曝光參數。此外,它還允許操作員優化工藝參數,以便在晶圓上創建所需的模式。VERTEQ ST 600還有一個集成真空工具，確保精確成像。它旨在使晶片在曝光過程中保持平坦和到位，在晶片上提供精確和一致的模式。晶圓也自動對準步進檢測器的中心，消除操作過程中任何潛在的失準。總體而言，ST600是光敏樹脂在晶片上的高度先進和可靠的光刻資產。它提供高達6英寸的場大小和高達600毫米/秒的步進運動速度，使其適合高速操作和精確的激光束曝光。該模型還具有集成成像和控制軟件，以及集成真空設備，可實現可靠和準確的曝光結果。