二手 VERTEQ SuperClean 1600-55M #9003267 待售

VERTEQ SuperClean 1600-55M是一款高端光刻設備，旨在方便現代復雜設備的生產。它能夠以每分鐘55加侖的速度清潔多達16英寸x 16英寸的基材和組件。利用氫氟酸、熱水和各種高壓組分的組合，SuperClean 1600-55M能夠去除有機和無機光致抗蝕劑殘留物，最大限度地減少潛在汙染，並提高高精密組分的生存功能。VERTEQ SuperClean 1600-55M的熱水部件采用溫度範圍為40-85 C的加熱導電加熱元件，以及容量可達55加侖的循環罐。水在系統周圍循環利用，為清潔作業提供持續的熱水和清潔水。氫氟酸配有自動滴定器，將溶液的pH值調整到最佳水平，確保組件的清潔更加完美。為了確保任何基板的最高質量的清潔度,SuperClean 1600-55M配有幾種獨特的工具。第一個是「Z-Platform」，旨在提高清洗過程的效率。該裝置與額外的沖洗循環和/或化學剝離循環協同工作，以最大程度地去除光致抗蝕劑。能分別控制溫度、混合、流速、工藝時間和化學性質。機器還提供高壓噴霧噴射器，一旦清潔完成，這些噴射器就會清除基板上的殘留物。為了進一步確保清潔，VERTEQ SuperClean 1600-55M還允許在線檢測化學殘留物。這是通過浸入式電導探頭來實現的，該探頭測量pH值和電導率，對清洗效率進行快速準確的分析。此外，還可以使用具有可調分辨率的光學密度模塊，就清潔過程的有效性提供反饋。前沿技術與卓越的工藝控制相結合，使SuperClean 1600-55M成為化學處理和光致抗蝕劑清洗的理想工具。從一流的精密零件到錯綜復雜的現代元件,VERTEQ SuperClean 1600-55M以無可挑剔的質量進行清潔,同時確保最大效率。