二手 VERTEQ SuperClean 1600 #293640275 待售

製造商
VERTEQ
模型
SuperClean 1600
ID: 293640275
晶圓大小: 6"
優質的: 1995
Spin Rinse Dryer (SRD), 6" 1995 vintage.
VERTEQ SuperClean 1600是一款提供全方位服務的光刻設備,旨在提供卓越的性能和效率。它采用了先進的技術和功能,增強了清潔和蝕刻能力,同時產生了可靠和一致的結果。該系統能夠處理從光致抗蝕劑到自旋玻璃的各種抗蝕劑,因此非常適合各種行業,包括半導體、汽車和航空航天應用。SuperClean 1600裝有一個16誇脫的底部進料罐和陶瓷包覆晶片架。該罐設計用於高密度清潔,允許有效去除金屬氧化物、鈍化層和光致抗蝕劑殘留物等顆粒。晶片持有者可以獲得優異的蝕刻效果,提供卓越的均勻性和完美的平坦表面.由於其先進的密封機,該裝置還被設計為最大限度地減少交叉汙染。VERTEQ SuperClean 1600具有獨特的專利清潔工藝,稱為SuperCOAT,它消除了泡沫,不需要具有侵略性的化學或表面活性劑。此專利工藝有助於提高晶圓吞吐量和產品產量。該工具還具有先進的真空控制資產和可完全調節的溫度控制模型,可實現精確的溫度調節和快速的冷卻時間。SuperClean 1600還擁有全方位的安全功能。它配備了自動電源故障關機,以及具有鎖定功能的先進軟件設備,以確保防止可能導致晶圓損壞的編程錯誤。此外,整個系統中的傳感器會檢測泄漏、潛在危險,並檢查操作是否正確。總體而言,VERTEQ SuperClean 1600是一款高效、可靠且安全的光刻裝置,提供卓越的性能和效果。其獲得專利的清洗工藝、先進的安全特性和高效的操作使其成為廣泛應用的理想選擇。
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