二手 VERTEQ SuperClean 1600 #9243729 待售
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VERTEQ SuperClean 1600是一種光阻設備,其設計目的是在處理晶圓和基板時提供非凡的效果。該系統非常適合需要高度清潔的精密敏感應用,因為它允許同時進行深層清潔和去除光致抗蝕劑殘留物。SuperClean 1600允許工程師和專業人士優化從基材中去除光刻膠材料的工藝。該裝置采用一種稱為「冷等離子體」工藝的機制來去除光致抗蝕劑材料。冷等離子體過程是利用通過等離子體腔的離子流和自由基的非熱清潔方法。通過將一束強烈的活化離子和自由基對準基板,機器從表面去除了抗性粒子。此外,該工藝不會產生任何有害的副產品,也不會在基板上產生任何額外的汙染。VERTEQ SuperClean 1600是一款功能強大、高效且用途廣泛的光刻工具。它能夠輕松處理各種操作,包括濕法和幹法。其低峰溫度控制確保易碎晶片和其他基板保持完好,同時允許最大清潔功率。此外,設備內強大的真空資產可以快速高效地清除抗蝕劑。這款車型還配備了照明室、過熱報警器等先進的安全功能,以及有助於防止磨料顆粒的雙壁設計。SuperClean 1600光致抗蝕劑設備是一種可靠、堅固的設備,非常適合要求最高清潔度的基板。該系統具有耐用的結構、可靠的精度和光刻膠的快速去除等多種特點,使技術人員能夠以精確和快速的速度自信地加工基板和晶片。
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