二手 VERTEQ SuperClean 1800 #9254916 待售

VERTEQ SuperClean 1800
製造商
VERTEQ
模型
SuperClean 1800
ID: 9254916
Spin Rinse Dryers (SRD).
VERTEQ SuperClean 1800是一款先進的光阻設備,旨在快速有效地從矽片、MEMS和其他敏感設備等基板上清除多種材料的表面殘留物。強大的臭氧/等離子體系統發出一股等離子體,以快速清潔和處理來自各種材料的殘留物。這一創新單元能夠提供各種形式的微調等離子體化學,包括對流加熱,同時控制正在加工的材料的能量密度和熱物理特性。此外,SuperClean 1800還具有可調節的電源設置,以獲得最佳效果。VERTEQ SuperClean 1800具有一個獲得專利的疏散室,它將臭氧釋放到真空環境中以加強清潔。這確保了所有光致抗蝕劑殘留物和其他異物的快速徹底去除。臭氧源和疏散室用電離路徑隔開,以幫助消除任何有害粒子的存在。這在處理小零件或細膩零件時特別有益。SuperClean 1800還配備了一臺獲得專利的冷卻機,可在操作過程中將溫度保持在50 ̊C以下,從而確保正在處理的敏感部件的安全性。該工具是為直觀的軟件和直觀的用戶界面直接操作而設計的。必要的流程參數可以輸入到資產中,而學習周期模式允許用戶在應用流程參數之前模擬流程參數。此型號還支持使用可移動無線拇指驅動器進行自動控制。溫度和濕度監測等附加功能進一步提高了設備的安全性和準確性。VERTEQ SuperClean 1800獲得CE&RohS認證,以證明符合國際安全標準,使其成為光刻膠清潔的可靠且經濟高效的解決方案。該系統是生產級制造工藝的一個很好的選擇,該工藝必須管理從底物中去除光致抗蝕劑殘留物和其他汙染物。SuperClean 1800可快速高效地有效清潔表面,同時保持精致基板的安全環境。
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