二手 VERTEQ VPA-1987 #9165582 待售

VERTEQ VPA-1987 Photoresist Equipment是一種計算機控制、高分辨率、真空處理的光刻膠系統,用於微加工應用。該裝置能夠利用先進的顯微光刻工藝，曝光和處理小至0.05微米的微觀規模特征大小和結構。VPA-1987具有直徑4.4英寸的晶片級,可提供自動晶片處理和加載,以實現準確和可重復的曝光和處理結果。機器中的全自動晶片翻轉機構確保了抗蝕劑薄膜和基板的精確對準，即使在處理長軌道的8英寸晶片時也是如此。晶圓級也可以用來處理長達4英寸寬的矩形、正方形、圓形或圖案。該工具包括分辨率為0.005微米或更高分辨率的高分辨率接觸打印頭。先進的自動對焦功能可確保在基板上精確打印。內置的電動快門資產提供統一的曝光吞吐量和準確性。還包括一個用於測量和調整晶圓傾斜度的校準激光幹涉儀。該模型使用了廣泛的正負抗性，具有接受新抗性材料的靈活性。此外,VERTEQ VPA-1987提供從0.1秒到10分鐘的可變處理時間,以及從-20攝氏度到150攝氏度的溫度設置。可編程切換功能允許設備以無與倫比的速度執行各種作業。光刻膠系統配有彩色監視器和強大的內置軟件。它允許用戶為曝光的圖像設置參數以及一次可以處理的晶圓數量。在處理運行過程中,可以在屏幕上監視結果。VPA-1987是一種堅固可靠的光阻裝置，具有優越的位置精度和可靠性，用戶可以輕松創建復雜的微觀結構。VERTEQ VPA-1987 Photoresist Machine與精密曝光、溫度控制和多晶圓處理功能等高級功能一起,是微加工應用的理想工具。