二手 VON ARDENNE Pia Nova #9279044 待售

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製造商
VON ARDENNE
模型
Pia Nova
ID: 9279044
Glass coating system Type: Horizontal.
VON ARDENNE Pia Nova是一款由真空塗層設備制造商VON ARDENNE開發的光阻設備。它是一種光致抗蝕劑,用於半導體晶片上納米結構的生產。Pia Nova系統利用先進材料和生產技術相結合,使光刻膠在晶片上的超高分辨率沈積成為可能。VON ARDENNE Pia Nova光致抗蝕劑單元使用一種稱為「Creationthrough Subtractive Deposition (CSD)」的專有技術。這使光致抗蝕劑能夠以最少的廢物和非常薄的均勻的沈積沈積。CSD過程涉及使用由多層薄膜組成的「母體」堆疊光刻膠層,其中第一層是PMMA(聚甲基丙烯酸甲酯)薄膜。然後,這種母體膜被暴露在等離子體光束中,該等離子體光束會蝕刻下層以定義所需的納米結構。經過蝕刻過程後,Pia Nova機再可以用一層薄而均勻的光刻層填充蝕刻的納米結構。將會沈積的抗蝕層由使用者決定,VON ARDENNE Pia Nova工具可以將抗蝕層沈積在薄的連續層或是多個較小、較厚的層中。沈積多層光刻膠的能力允許復雜的設計和制造高分辨率組件。Pia Nova資產使用與托盤相關的專利處理模型,提供了穩健而精確的抗拒應用。托盤對過氧化物和環保物質具有抗性,這意味著它們可以在廣泛的行業中使用。它還使用真空沈積技術,以確保光致抗蝕劑的沈積在整個晶片上均勻一致。最後,VON ARDENNE Pia Nova設備提供全熱控制,意味著用戶在應用過程中能夠精確控制抗蝕層的溫度。這保證了光刻膠層在整個晶片中以一致甚至均勻的厚度沈積,進一步提高了納米結構的質量和精度。Pia Nova光致抗蝕劑系統是一個先進的單元,為用戶提供一種精確、可靠、經濟的方式,為半導體行業生產高質量的納米結構。VON ARDENNE Pia Nova機器結合了先進的材料和生產技術,是生產高精度、高精度納米結構的理想機器。
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