二手 WEIMENG 200 #9396582 待售
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WEIMENG 200是為執行光刻工藝而設計的光刻設備。它是針對高端研究、制造和工藝開發的需求,經過獨特設計的高性能第三代光刻膠系統。200能夠使用各種分辨率不同的光刻膠形成圖樣。該單元特別適合生產細線和高拓撲特征。它是一種多層機器,具有多種功能,可以很容易地進行定制,以滿足特定的要求。WEIMENG 200利用了一種化學釋放劑,用於防止抗蝕劑在後續過程中粘附在基板上。為控制光刻膠圖案的對齊,刀具采用自動對齊機制。該機構使用低功率激光測量基板的確切位置,然後相應移動掩模。照明方面,200配備了光譜控制濾波器技術。此功能允許用戶調整光的顏色、強度和精確波長,以適應工藝要求。該資產還集成了原位處理功能,使用戶能夠同時運行多個工具。該模型有幾種接觸條件,包括常規接觸、接近和浸沒曝光系統。該設備還能夠進行高長寬比(HAR)曝光,從而使用戶能夠制作出具有廣泛電阻率的高度精確的圖樣和特征。總體而言,WEIMENG 200提供卓越的可靠性、準確性和成本效益。其特點使其成為高端應用在半導體制造、微電子、生物技術等領域的理想選擇。
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