二手 WERNER MATHIS LFT #9069946 待售

WERNER MATHIS LFT是一種用於微電子器件制造的光刻膠系統。它以夾層結構為基礎，夾層結構由兩層組成：負的苯並三唑聚合物光致抗蝕層和酸敏化的LFT層（又稱潛伏功能厚度）。這種組合充當了下面的光致抗蝕劑層和晶圓表面之間的守門人。當暴露在紫外線下時，酸敏化的WERNER MATHIS LFT層發生反應，形成粘性薄膜，作為下面光致抗蝕劑的掩模。當UV光通過光掩模施加到晶片上時，根據光的強度可以有選擇地暴露或覆蓋光阻層的反應性區域。然後調整光掩模的位置,使其在晶片上的每一個器件層都能正確陣列。聚合物光致抗蝕劑一旦經過顯影烘烤過程，就會在晶片表面形成一層薄層，類似於最初在光敏層上形成的圖案。一旦光致抗蝕劑暴露並固化，一層薄薄的酸敏LFT就會留在後面。這充當了光刻膠和晶圓表面之間的保護性「閘門」。這種對底層的絕對疏忽確保了設備元素的精確模式。因此，這種光致抗蝕劑系統被廣泛應用於各種行業，特別是與半導體器件制造有關的領域。與其他光阻系統相比,WERNER MATHIS LFT系統提供了卓越的分辨率和魯棒性。使用LFT和聚合物的特定組合也能使光刻膠和底物之間有良好的附著力。此外,由於開發過程的相對速度,WERNER MATHIS LFT光致抗蝕劑系統能夠在短時間內精確繪制大批量晶片的圖樣。總體而言,LFT光刻膠系統是各種電子設備制造應用的理想解決方案。將酸敏化的WERNER MATHIS LFT和技術先進的聚合物結合起來，提供了出色的分辨率、良好的附著力和快速的發展過程--所有這些都使其成為一系列從事微電子器件制造的行業的理想光刻系統。