二手 WERNER MATHIS VF 500 #9069956 待售

WERNER MATHIS VF 500光刻設備是一種自動化的高精度光刻板對準系統,由全球領先的設備制造商之一Mathis Werner為先進的半導體制造而設計。這一特定單元針對生活在光伏產業中的太陽能電池器件工藝應用進行了優化。該機器由一個集成的非接觸式面板識別工具和一個自動對準資產以及一個精密的半自動真空傳輸模型組成，提供了高度自動化。真空傳輸設備通過其精密對準傳感器能夠快速可靠地將基板運送到位，該傳感器設計用於處理難以傳輸的基板，提供業界領先的對準精度。光刻板系統采用專利飛行時間和激光工藝，以納米級增量精確測量距離，在1-2微米範圍內精確對準面板。如此高的準確性克服了手動對齊方法通常遇到的不準確性。該單元由幾個關鍵部件組成，包括一個前置頭、一個框架安裝傳輸、一個控制單元，以及一個具有廣泛傳感器和執行器的支撐平臺，包括CCD攝像頭、步進電機、伺服驅動器、傳感器、摩擦儀、力表、光功表等。Prober head have two wafer stributes of ceramics with sapphire tips, specially designed to carries wafer and packages up 4 「and 8」.這部分還有一個大真空平面，有90個可單獨調節的探頭，能夠精確對準和對準小基板。它還包含一個獨特的壓力控制機，以保持基板高度準確定位。框架安裝傳輸單元提供晶圓運動所需的運動控制。它包含線性編碼器和步進驅動器，用於動態計算運輸過程中基板的位置和速度。支持平臺容納集成傳感器和執行器，包括CCD攝像頭和激光測距工具。它確保基板在配位區的精確放置，並提供快速和精確的定位與精確的對準和預先對準。總體而言，VF 500光刻資產為光伏行業的眾多應用提供了高精度、高速度和高可靠性的完美結合。它還通過其通用的設計、準確的註冊和強大的客戶支持為用戶提供了較低的擁有成本。