二手 YUASA LPC-5211 #9392166 待售

YUASA LPC-5211是為制造先進陣列電路而設計的光刻設備。該系統利用光刻和蝕刻工藝的獨特組合，以最小尺寸邊距產生精確和復雜的圖案。LPC-5211利用光刻技術，利用光敏的光刻材料和遮罩在基板上形成圖樣。所用的特定光致抗蝕劑材料的組成可能因應用而有所不同，最常見的光致抗蝕劑是環氧樹脂，如聚甲基丙烯酸甲酯（PMMA）。光致抗蝕劑材料暴露於遮罩的光線下，光致抗蝕劑的任何保形區域將保留，而底物的其余區域將暴露於蝕刻過程中以去除材料。該單元包括15英寸步進/掃描儀,可提供高達5 µm的陣列分辨率和2 µm的步進分辨率。這種分辨率由獨特的二維激光幹涉儀進一步增強，在曝光步驟中提供非常精確的圖樣和對準。YUASA LPC-5211的蝕刻工藝采用氧基等離子體蝕刻機，包括一臺高功率微波發生器，提供高蝕刻速率和受控深度。該工具可提供高達0.6 µm/分鐘的令人印象深刻的蝕刻速率和高達1 µm的蝕刻深度,並具有10-40瓦的可調功率。LPC-5211還配備了氣流控制、真空監測、溫度控制等眾多安全功能，以確保安全、準確的光刻膠曝光和蝕刻工藝。如果檢測到故障以防止代價高昂的損壞,該資產還能夠進行自我故障診斷和自動關閉。總體而言，YUASA LPC-5211是為生產高質量和復雜電路而設計的可靠和精密的光刻膠模型。其高分辨率、優越的蝕刻速率和安全特性使其成為各種光刻應用的理想設備。