二手 YUASA SR-8040A #9375925 待售

YUASA SR-8040A是一種專為半導體生產而設計的高端自動化光刻工藝設備。此模型高度自動化,一次最多可處理10個晶圓的15個以上過程。YUASA SR-8040 A配備了專有的5級熱控制系統,用於卓越的基板加熱和冷卻控制。它還具有內置的過程監控單元，允許更精確的抵抗-塗層均勻性。該單元可處理各種尺寸達8英寸的基板，晶圓對準精度在2.5 µm以內。該機還具有用於直接成像的高強度紫外線燈源。燈源采用石英玻璃絕緣出口窗設計，增強了紫外線均勻性。SR-8040A提供多種抗蝕劑處理功能,包括掩蔽、預烤、後烘烤、曝光、後曝光烘烤、顯影、烘烤、蝕刻和計量。曝光單元配備了頻率穩定的LED光源，允許精確對準。該機還提供高速和低速的開發和蝕刻工藝。該工具設計有充足的輻照控制，允許用戶精確控制劑量和時間。室內設計采用等離子體清洗機構，以消除汙染，最大限度地提高產量。觸摸屏用戶界面允許快速、準確的流程設置。SR-8040 a還具有獨特的真空前緣清潔功能。這在高密度抗蝕劑應用中特別有用，因為它消除了整個晶片上不必要的抗蝕劑，只留下了預期的抗蝕劑。它還有一個前端過濾器，以防止雜質進入工藝室。要操作YUASA SR-8040A,用戶必須遵守嚴格的安全程序。適當的培訓至關重要；用戶在使用前必須熟悉機器的規格和安全協議。適當的維護也是必不可少的。定期檢查電路板和其他組件,以確保它們正常工作。YUASA SR-8040 A為精確的結果提供了卓越的光刻膠工藝控制。從高達8英寸的基板到用於直接成像的強烈紫外線，這種頂級資產對於實現最高水平的電路生產至關重要。