二手 YUASA Unicorn #293748587 待售

YUASA Unicorn是一種光阻設備，設計用於在半導體、微電子和集成電路（IC）基板上產生高質量、化學放大的正抵抗模式。由YUASA Electron開發，光刻膠系統使用同步加速器級超紫外線光源激活光刻膠配方；這會產生高長寬比、低缺陷密度和無堵塞蝕刻特征的圖案化基板表面。此單元不需要使用任何額外的掩蔽材料,從而可以直接創建復雜的布局。獨角獸光刻機采用灰化工藝；這涉及直接或間接利用能量，例如熱束或電子束，分解光刻塗層。灰化可以去除基板表面的汙染和殘留物，從而獲得更均勻的圖樣結構和更好的抗粘性。YUASA獨角獸工具生產優質基板表面；超薄抗蝕膜提供了最高分辨率的圖像，直接降低了缺陷密度。此外，抗蝕劑結構的高長寬比提供了良好的附著力和兼容性與蝕刻工藝。此外，獨角獸資產確保了極好的可重復性，使其適合於批量生產過程。YUASA獨角獸光刻膠模型的靈活性使得光刻膠配方的調整更加容易；這為創建復雜的模式提供了更大的多功能性，包括創建微小的細線模式。此外，全面選擇抗蝕劑配方的可用性為特定的處理應用程序創建了量身定制的抗蝕劑模式。整體而言，獨角獸光刻設備是生產高分辨率、高縱橫比圖案的有效可靠工具。它具有多種工藝和基板兼容性，使得各種IC和微電子的加工成為可能，從而能夠大量生產高質量和復雜的基板。