二手 YUASA Unicorn #293806434 待售

YUASA Unicorn是日本廠商YUASA Corporation開發生產的光刻設備。它是業界最流行的光刻膠系統之一，用於晶圓級封裝和MEMS等各種應用。獨角獸光刻系統由四部分組成。第一部分是光敏材料。YUASA獨角獸單元使用的光刻膠材料是一種丙烯酸基電子束（E-beam）正光刻膠，具有高分辨率和優異的蝕刻電阻。這些特性使得它非常適合各種應用，如低溫蝕刻、半導體器件制造、MEMS和晶圓級封裝。機器的第二部分是曝光單元。曝光單元由Unicorn的線性運動控制光束積分器組成，其中包含一個定制的石英窗口，可以用來降低電子束輻射的強度。這樣可以減少模式失真並實現高分辨率成像。工具的第三部分是開發單元。YUASA獨角獸資產使用先進的水基開發溶液去除了曝光的感光膜。這種溶液提供極好的分辨率和耐蝕刻能力，同時也產生極小的殘留物。獨角獸模型的最後一個組成部分是保護層塗抹器。這在光刻膠上塗上一層薄薄的保護層，保護它免受有害的紫外線輻射、物理傷害和水分的侵害。該層允許安全地存儲和處理光刻膠,並防止處理過程中的圖樣失真。總體而言,YUASA獨角獸光刻設備是一種高效可靠的解決方案,適用於各種應用。其高分辨率和出色的蝕刻電阻使其成為各種應用的理想選擇，包括半導體器件制造、晶圓級封裝和MEMS。該系統先進的水基顯影液具有極好的分辨率和耐蝕刻性能，產生的殘留物極少，其保護層保證了光致抗蝕劑的安全儲存和處理。