二手 ZEISS A20 #9081688 待售

蔡司A20是光刻工藝中使用的光刻設備。該系統是在半導體、顯示器和微機電系統（MEMS）生產中創建模式的重要工具。A20使用獲得專利的液位對準技術，將其光學器件與目標基板精確對準。蔡司A20機組包括高精度的四軸運動級、掩模和晶片級以及掃描和步進電機。四軸運動階段可確保元件在光刻過程中的精確運動。掃描和步進電機移動舞臺上的光學元件，使其相對於基板精確定位。掩模和晶片級允許通過自動交換機制更快地交換晶片。A20專為高分辨率陣列設計,具有專有的高數值孔徑（NA）光學設計。非接觸式激光對準機使光學元件在光路中的定位更加精確。這樣可以確保更線性的照片可定義模式。蔡司A20包括一整套自動化和控制光刻工藝的軟件。這包括用於優化結果的自動化配方和擴展過程控制。軟件包括OPC算法、巖性模擬算法和工藝優化算法。A20還利用了KrF、ArF、EUV光刻等光源。該工具被構建為與半導體加工中常用的化學品、光刻膠和蝕刻劑兼容。蔡司A 20光刻資產是開發先進光刻技術的重要工具。其高精度元件和自動化特性使其成為與半導體制造相關的各種應用的理想選擇。通過其緊湊的設計和高性能，A20是一個經濟實惠的選擇，以實現精確的圖案化結果。