二手 ZEISS A20 #9245012 待售

ZEISS A20光刻設備是一種半自動化系統，旨在方便開發用於微加工的光刻膠。它具有獨特的集成設計，能夠精確地自動控制光照，並具有集成的CO2激光單元，可提供高分辨率的光刻膠基板曝光。A20光刻機采用不銹鋼制造，采用人體工程學設計，采用集成觸摸屏，可精確自動控制曝光參數。它提供單步和多步曝光,並具有雙級數字信號處理（DSP）功能,可提供高度精確的曝光級別。此外,該工具還可以精確控制光斑尺寸、光束偏振/方向、快門速度和強度。對於單步曝光，蔡司A 20光刻膠資產利用多達五個通過觸摸屏界面控制和調整的CO2激光源。在執行多步驟曝光時,模型包括一個可編程控制器,用於調整曝光周期模式。該設備的CO2激光器提供高分辨率的光阻基板曝光，即使在較低的電壓下也具有較高的光速率，而超薄激光器則提供更加精確和定向的曝光。光刻工藝的精確度和準確性也得到了提高，因為每次曝光時基板都會自動對齊，確保精確的配準。A20光刻膠系統還包括一個用於基板表面處理的自動清潔站和一個用於光刻膠塗層工藝的清潔室。潔凈室裏充滿了氮氣，以保證光刻膠在基材上的尺寸穩定性。蔡司A20光刻裝置提供最先進的微加工技術，非常適合各種應用領域，包括先進的光電子、微流體和生物醫學設備。