二手 ZEISS B12 #9231341 待售

ZEISS B 12是一款光刻設備，旨在為用戶提供用於生產微加工元件的可靠高效光刻手段。ZEISS B-12基於傳統的「自旋」聚合物抗蝕劑，用於無掩模光刻，在分辨率和圖樣保真度方面提供了優異的效果。該系統由三個主要組成部分組成：光刻膠、輸送裝置和真空卡盤。光致抗蝕劑是為特定應用量身定制的單體。它有正負兩種工作公式。送貨機是一種自動無掩碼噴霧器，在基板上精確、均勻地分配光致抗蝕劑。這樣可以對抗蝕劑進行精確的陣列處理。真空卡盤將基板固定在光刻過程中的位置。B 12可實現用戶友好且一致的照片掩碼精度,這意味著用戶不需要大量時間來正確掩蔽其圖層。抗蝕劑快速粘附在其塗抹的基材上，不需要烘烤或硬化。B-12與其他平版印刷系統無縫連接,便於集成。該工具可獲得的分辨率非常高,允許將尺寸小於20 nm的特征可靠地轉移到基板上。此外,還可以執行單層和多層過程,從而能夠及時完成復雜層的高通量制造。由於其高效和用戶友好的方法，蔡司B 12非常適合用於許多不同的應用，如半導體生產、MEMS制造和納米加工。可靠的高分辨率、易於集成和多用途的功能使蔡司B-12成為生產微加工部件的一個非常有吸引力的選擇。