二手 ZEISS B12 #9245011 待售

ZEISS B 12光刻設備是集成光掩模的前沿解決方案,旨在快速、經濟高效地生產用於光刻的高分辨率圖樣。該系統的核心是ZEISS B-12歐式Invesresit塗層，能夠處理尺寸高達350mm的晶片。塗層采用壓力、溫度和塗層速度的閉環控制，以確保精確和可重復的圖樣結果。該單元的集成真空工具用於在圖樣傳遞過程中實現低應力環境，從而提高了附著力和圖樣保真度。B 12光刻機還包括一個先進的自動化工具，增加吞吐量，使多個晶片可以同時處理。該資產配備了雙激光對準模型，精確地將晶片定位在塗層上。機器人輔助加載和自動卡帶檢索設備進一步提高了生產效率。然後使用集成的自動基板交換將晶片旋轉塗層並與正確的光刻膠對齊。該系統具有用戶友好界面,可簡化從預設到完成的過程。配方驅動的圖形顯示提供了有關流程的實時信息,並允許用戶快速調整參數以提高性能。該股還采用綜合質量保證協議，並支持數據收集和流程管理，以確保每次都有可重復的高質量成果。B-12光刻機為滿足光刻生產需求而設計，非常適合用於半導體、光伏、光電等要求最高性能的學科。該工具具有速度、一致性、可靠性和成本效益等優點，所有這些都是精密制造光掩模所必需的。