二手 ZEISS B12 #9245013 待售

ZEISS B12
製造商
ZEISS
模型
B12
ID: 9245013
AR Coater system LCS 550 Included.
蔡司B 12是為納米加工應用而設計的最先進的光刻設備。具有快速、準確、可靠的抗層沈積和圖樣處理能力.該系統利用電子束和激光技術相結合,實現了50納米以下的光刻分辨率和最高可實現的無掩模制造程序。ZEISS B-12由電子束柱、高真空軌道、自動抗蝕劑構象和集成配方單元組成。電子束作為成像源,用於暴露抗蝕層,高真空軌道用於移動基板。集成配方確保可以預先編程所需的能量、劑量和光束參數,以確保可重復的結果。此外,為了確保陣列的最高分辨率,機器采用了強大的反饋控制校正算法,在曝光過程中校正焦點和漂移。B 12抗蝕層可用於納米容器、納米結構、納米顆粒、納米材料等各種應用。此外,對於不同的應用程序,如批處理、多級、多點和高吞吐量,可以在不同的模式下操作該工具。B-12的基板級也能夠處理任意基板如晶圓、玻璃滑梯和真空兼容蝕刻基板。此外,ZEISS B 12具有很高的靈敏度,可以在廣泛的劑量水平上操作,使其能夠打印非常小的特征。這使得ZEISS B-12成為量子點、高密度MEM、傳感器和生物醫學納米系統等應用的理想選擇。此外,B 12形成的抗蝕層被證明非常穩定,適合長期儲存和再利用。總之,B-12是為高精度納米加工應用而設計的強大可靠的光刻膠資產。它利用離子束和激光技術相結合,產生高分辨率圖樣,並提供多種底物和曝光模式。集成配方模型確保了可重復結果和強大的反饋控制算法在曝光過程中糾正焦點和漂移。此外,蔡司B 12形成的抗蝕層被證明非常穩定,非常適合長期儲存和再利用。
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