二手 AXCELIS / FUSION Integra RS #293593049 待售

AXCELIS/FUSION Integra RS是一種快速熱處理器（RTP），旨在支持快速的熱擴散過程，如快速氧化、退火和驅動。這種工藝由於其多才多藝的能力和效率，在半導體行業中越來越受歡迎。FUSION Integra RS專為實現快速可靠的參數調整、提高流程性能和優化設備功能而設計。AXCELIS Integra RS的機械設計提供了最大的靈活性和過程正常運行時間。其專有的Rapid Thermal Ramp技術確保了對大型晶片尺寸的統一溫度控制和性能,使其適用於各種工藝選項。該系統配有雙扇形徑向臂和軟件控制的活動區域，便於統一的基板溫度控制。Integra RS還具有先進的安全和環境保護功能。其先進的真空回填系統允許穩定的大氣處理，保持工藝環境清潔。包括高級安全設計功能,包括安全聯鎖、可聽警報和覆蓋按鈕。AXCELIS/FUSION Integra RS為電氣和結構過程提供過程一致性。該系統支持各種工藝溫度,並且可以定制以滿足特定工藝需求。此外,FUSION Integra RS還配備了先進的光學和溫度傳感器技術,可提供實時溫度測量和反饋,以及過程後分析。AXCELIS Integra RS旨在提供更高的吞吐量、更低的工藝成本以及可靠、可重復的結果。Integra RS憑借其先進的安全設計、環保和溫度控制技術，是從MEMS設備到大面積光伏等應用的完美RTP解決方案。