二手 AXCELIS / FUSION Integra RS #293615015 待售

FUSION的AXCELIS/FUSION Integra RS快速熱處理器是一個先進的半導體工藝室，為各種應用和市場提供精確、精確的熱處理。FUSION Integra RS具有先進的設計，允許最大限度地控制處理參數，允許無與倫比的處理質量和可重復性。AXCELIS Integra RS快速散熱處理器提供兩種不同的系統,即Standard和Plus,這兩種系統均提供高效的散熱管理和精確的溫度均勻性,從而減少與對齊相關的損壞。Standard和Plus系統允許用戶分別達到1450°C和1550°C的峰值基板溫度。後者還提供了更快的熱處理，最大坡道速率為12,000°C/min，使其適合高速和高功率應用，而Standard品種最高可達10,000 °C/min。Integra RS快速散熱處理器具有多項關鍵設計功能,可確保精確、可重復的結果。其真空室位於一個熱穩定的外殼內，提供溫度均勻性、熱效率和溫度控制。其高度可配置的設計還使用戶能夠根據自己的確切需求定制腔室的特性。AXCELIS/FUSION Integra RS利用超精確的線性驅動設備進行晶圓的自動移動，用於晶圓的精確裝卸。其最先進的反應室為用戶提供先進的氣體控制，包括對源氣體的精確流量和壓力控制，以及管理質量吞吐量的專利控制系統。FUSION Integra RS Rapid Thermal Processor提供了一套可選的腳部和附件,包括氧化劑、凈化器、減震器和石英敏感器,允許用戶根據需要升級其設備。其先進的安全系統提高了用戶安全和機器正常運行時間，防止高溫處理的潛在風險。最後,AXCELIS Integra RS快速熱處理器提供了無與倫比的熱處理性能,使用戶能夠最大限度地提高產量並減少產量損失。這種先進的工具提供了速度、精度、溫度均勻性和控制的無與倫比的組合，使其成為滿足一系列半導體加工需求的理想選擇。