二手TEL / TOKYO ELECTRON(快速升溫製程處理)待售
TEL(東京電子有限公司)是半導體和平板顯示器生產設備的領先制造商。在其產品中,TEL生產的快速熱處理器(RTP)廣泛應用於半導體行業。RTP是一種熱過程,快速加熱和冷卻半導體晶片,以方便芯片制造過程中的各種步驟。TEL的快速熱處理器比傳統的基於熔爐的系統有幾個優點。首先,它們提供精確、均勻的加熱,使工藝參數得到更好的控制,從而提高晶圓質量和器件性能。其次,RTP提供了更短的過程時間,減少了總體生產時間並提高了吞吐量。此外,它們是高度可定制的,使工藝工程師能夠針對不同的材料和設備結構優化設置。TEL快速熱處理器的一個例子是Alpha-8S-ZAR。該型號具有先進的溫度控制和加熱均勻性,保證了良好的工藝重復性.它采用多區燈設計,在晶圓表面進行高效、均勻的加熱。此外,它還提供了卓越的溫度升高和冷卻速率,從而加快了處理時間。TEL的快速熱處理器,包括Alpha-8S-ZAR,在工業上被廣泛用於快速熱退火、化學氣相沈積、氧化等制造過程。它們的先進能力和高性能使它們成為半導體制造商在實現精確高效熱處理方面的熱門選擇。
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