二手 TEL / TOKYO ELECTRON Alpha-8S-ZAR #9227411 待售

TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-8S-ZAR是設計用於半導體制造行業的快速熱處理器。它是一種先進的高溫快速熱退火器（RTA），提供精確快速的晶圓熱控制。該設備具有先進的光學系統，利用閃光燈照明進行超高速加熱，采用電磁驅動的石英振蕩器板，以及兩個線性反饋執行器來實現最大的熱控制。TEL Alpha-8S-ZAR使用多個超快速脈沖閃光燈產生快速均勻的溫度斜坡速率，在退火時提供精確的晶圓溫度控制。此外,該單元還具有獨特的數據捕獲和控制功能,其「FluxEye」功能可測量和存儲晶圓溫度測量,從而實現更好的處理控制。TOKYO ELECTRON Alpha-8S-ZAR在超低壓環境下也提供高達1400 °C的高處理溫度範圍。這提供了更高的工藝和薄膜均勻性，優越的熱控制，以及與長期工藝相比的高度可重復性。Alpha-8S-ZAR配備了多種先進的安全功能，包括氫氣安全選項，如果氫氣水平達到室內危險水平，則啟動緊急疏散程序。該機還具有全自動離線功能，包括惰性氣流校準工具、用於進一步工藝控制的獨立加熱器電流和電壓讀數，以及有助於防止工藝超支和晶片熱損壞的自動溫度補償算法。此外，TEL/TOKYO ELECTRON Alpha-8S-ZAR具有先進的FM/AM振蕩器，內置遙控能力。此遠程控制功能允許用戶從遠程位置監視資產參數,從而確保始終保持過程控制。TEL Alpha-8S-ZAR旨在滿足半導體制造環境的需求,為用戶提供優於長期退火過程的過程控制和可重復性。其先進的安全功能、廣泛的功能和遠程控制功能使其成為要求苛刻的半導體制造行業的理想選擇。