二手 AMAT / APPLIED MATERIALS 0010-03840 #293659921 待售

AMAT/APPLIED MATERIALS 0010-03840是一種用於CVD（化學氣相沈積）處理的通用反應器，可用於多種半導體器件制造應用。真空室由不銹鋼構成，直徑48英寸，長度48英寸。它能夠在高達400-500 mbar的壓力和高達400°C的溫度下運行。內部基板直徑24英寸，可容納四個200毫米晶圓。反應堆配有射頻電源和UPW（超純水）設備，用於維持清潔幹燥的工藝環境。該系統可以安裝額外的可選設備，以提供額外的輔助功能，如電離、等離子體蝕刻和基板加熱。AMAT 0010-03840 CVD反應器在晶片表面具有較高的溫度均勻性（<± 3°C）,能夠實現較高的薄膜沈積均勻性（<± 2%）。還配備了應急流程-氣體關閉裝置和安全機器監控室壓力、溫度、應急降壓。反應堆設計緊湊經濟，非常適合用於研究和原型設計。射頻發電機具有很高的控制能力，對每一層的沈積參數都有很高的控制能力。該工具高度自動化,需要最少的人員培訓和時間來啟動和運行。此外,該資產極其可靠可靠,而且對停機和服務的要求極低。總之，APPLIED MATERIALS 0010-03840 CVD反應器是一種可靠、高性能的CVD模型，可用於制造多種半導體器件。其緊湊、經濟的設計使得它成為成本和空間都值得關註的應用的絕佳選擇。溫度、薄膜厚度和沈積速率的高均勻性，以及其安全性、可靠性和易用性，都有助於使設備成為許多應用的絕佳選擇。