二手 TEL / TOKYO ELECTRON MB2-720 #9394396 待售
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TEL/TOKYO ELECTRON MB2-720是一種高效的半導體晶圓制造工藝反應器。它設計用於加工金屬、氧化物、氮化物以及半導體工業中使用的其他材料。TEL MB2-720反應器利用可靠的多級電子束加速器提供最佳工藝參數和低壓沈積速率。反應堆的運行溫度低於其他常規反應堆,在沈積過程中提供了更大的靈活性和精度。多級電子束加速器能夠提供更高的線性加速率,提供更短的處理時間。對梁的形狀和角度進行了優化,使其具有最佳的均勻性和沈積特性,並對梁進行了控制,從而優化了吞吐量和沈積控制。該設備還配備了一個自動監測系統,就該過程提供反饋。這樣可以確保材料的最佳利用率和精確的結果。TOKYO ELECTRON MB2-720反應器利用工藝室的大氣壓變化作為提高生產過程中均勻沈積的一種方法。這有助於減少基板位置和基板溫度之間的變化。該裝置還具有低能電子束控制機器,能夠產生能量分布範圍狹窄的電子和離子,以精確控制沈積過程。這有助於確保均勻沈積。MB2-720可以集成到整個半導體生產線中,允許將相同的設備用於多個過程以及基板的裝卸。反應堆還設計方便、有效的維護,組件易於更換。該工具還具有直觀的用戶界面,允許快速操作指令和自動化過程控制。總體而言,TEL/TOKYO ELECTRON MB2-720是處理半導體晶片的先進可靠反應器。它在制造過程中具有很高的效率、均勻性和控制性,是半導體制造廠的理想選擇。
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