二手 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ EX-II Ti/TiN #293638914 待售

TEL Triase+EX-II Ti/TiN是為工業用途而設計的反應堆。用於進行氧化、還原、蝕刻、沈積和表面處理等化學過程。它具有一個24 ″的等離子體陰極腔，具有傾斜的鏡面構型，可以使沈積速率和厚度在大面積上均勻化。該室具有氣密陶瓷絕緣壁，並帶有可選的陶瓷蓋，用於熱控制和低蒸發率。其6向可調氣體控制閥總共可提供25種工藝氣體，流量控制最多可達32種氣體。具有最高輸出500W的雙獨立射頻發生器可確保沈積和表面處理均勻性的平穩、可重復的過程。Triase+EX-II具有高級軟件控制功能,具有預加載的流程配方、高級診斷功能和可視化監控功能。其設備監控和支持應用可以提供過程穩定性和基板質量管理。數據采集設備提供實時流程信息和數據記錄功能。此外,系統還具有可選的遠程訪問和圖形用戶界面以及配方構建器功能。Triase+EX-II專為在Class-1潔凈室條件下運行而設計,並配備經過認證的氣體管理單元、安全聯鎖裝置和先進的安全功能。它的設計目的是維持先進工藝所需的高溫，可在高達200°C的惰性環境和高達5 Torr的高壓環境中運行。同時，其自動屏障室清洗機可進行多層厚度沈積，無汙染風險。綜上所述，TOKYO ELECTRON Triase+EX-II Ti/TiN是一個工業反應堆，設計用於執行先進的化學過程。它具有多種氣體控制系統、雙射頻發電機、高級軟件控制和可選的遠程訪問功能。設計用於Class-1潔凈室，並配有安全聯鎖和先進的安全功能，以確保安全和質量。