二手 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ SPA #9252463 待售

TEL/TOKYO ELECTRON TRIASE+SPA是納米結構和薄膜生長的專用反應器。該反應堆是TEL先進等離子體化學氣相沈積（CVD）系統之一。它提供了高達5nm/最小的薄膜沈積速率,並具有卓越的質量,以及低溫濕、熱和大氣過程。獲得專利的TEL Triase+SPA設計能夠生產納米結構的薄膜,以及具有極其精細特征的超光滑表面。TOKYO ELECTRON TRIASE+SPA配備獨特的平面磁控管設計，提供對等離子體的最佳控制。這使得生產純凈和低缺陷密度薄膜的效率和再現性成為可能。此外，該設備還有一個熱源套件，可為不同的沈積應用將基板從20°C加熱到500°C。Triase+SPA能夠處理直徑不超過8英寸的基材，並配有鋁制隔熱板，以確保樣品溫度均勻，防止樣品意外蒸發。TEL/TOKYO ELECTRON Triase+SPA也可用於低溫濕清洗過程。該系統配有離心機、蓄水池、歧管輸送裝置，用於濕式清潔溶液的受控應用。此外，該機器還能夠進行大氣和幹燥處理，如快速熱退火（RTA）、氧化、氮化和底物磷化。TEL Triase+SPA是生產納米結構和薄膜的高效有力的工具。其可靠、可復制的工藝性能保證了高質量膠片的生產。此外，該工具的先進控制特性在資產運行過程中提供了最佳的基板和氣體均勻性。這使得反應器非常適合用於各種沈積和退火應用。