二手 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ #293628645 待售

TEL（TOKYO ELECTRON）TEL/TOKYO ELECTRON TRIASE+是由工藝設備領先制造商TEL/TOKYO ELECTRON生產的先進的半導體聚焦立式爐堆。TEL Triase+是一種多用途工具，非常適合低批量和大批量生產，其中包括對以前的垂直爐反應堆模型的一些改進。TOKYO ELECTRON TRIASE+結合了幾項獨特的技術，例如改進石墨室設計和通過雙區溫度控制改進晶圓溫度控制，以最大限度地提高溫度均勻性。改進的石墨室設計增加了晶圓表面的氣流和溫度均勻性，在較少的循環中提高了產量。雙區溫度控制允許獨立控制上下室溫度，從而提高了大衣的均勻性和密度。Triase+還具有TEL專有的自動臂板調節功能,允許自動調節晶圓高度,降低人工成本並提高吞吐量。TEL/TOKYO ELECTRON TRIASE+的自適應過程控制（APC）設備提供準確一致的過程控制。使用APC,用戶可以根據其配方要求設置特定的雙室溫度配置文件。該系統能夠自動調整配方，以補償由熱滯後或晶圓大小不同等因素引起的工藝波動。TEL Triase+專為易於操作而設計,在流程應用程序方面提供了高度的靈活性。通過其集成配方編輯器，用戶可以為特定流程創建和編輯自定義配方，從而減少周期時間。TOKYO ELECTRON TRIASE+還具有增強的安全功能，如主動冷卻單元和集成爐室排氣機，提供了更安全的工作環境。總體而言,Triase+是半導體制造商的寶貴工具。其先進的技術和創新的特性使其成為低批量和大批量生產過程的理想選擇。它靈活的過程控制和配方編輯器,以及增強的安全功能使其成為任何設施的寶貴資產。