二手 TEL / TOKYO ELECTRON Triase+ #293762161 待售
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單擊可縮放
ID: 293762161
晶圓大小: 12"
優質的: 2018
CVD System, 12"
Process: ASFD TiN
(4) Chambers with heater
Power rack
(3) Port loader
Hard Disk Drive (HDD)
Robot missing
2018 vintage.
TEL/TOKYO ELECTRON TRIASE+是一種最先進的反應器，設計用於生產無定形和微結晶矽薄膜太陽能電池。該反應堆提供了精確、受控的環境，實現了行業最佳效果。TEL Triase+具有三步、多階段的熱過程,可實現精確的溫度控制和快速、均勻的加熱,從而提供高度均勻和可重復的過程。該反應堆還設有一個特殊的光束成形光學設備，以確保反應區的均勻輻照，以及一個多波長紅外加熱系統，以確保底物的溫度在整個底物上均勻。TOKYO ELECTRON TRIASE+配備了多源供氣單元，可以同時引入多種氣體，從而對反應氣氛進行更精確的控制，創造出更均勻的過程。它還具有主動安全機器，設計用於在出現異常加熱或冷卻情況時關閉反應堆。反應堆還提供先進的過程控制自動化功能，允許根據用戶的過程要求定制配方。該工具還具有直觀、用戶友好的界面，便於操作和監控工藝參數。Triase+反應室的設計是為了保證所生產薄膜的最佳均勻性。它具有平衡的流速、低壓範圍和反應室中最佳的溫度分布。TEL/TOKYO ELECTRON Triase+因其獨特的設計特性提供了更高的靈活性和可靠性。TEL Triase+是一種高效高效的反應堆，生產率高，條件可控，工藝結果均勻。總體而言，TOKYO ELECTRON TRIASE+反應堆為生產高質量的薄膜太陽能電池材料提供了極其精確和用戶友好的資產。反應堆是為了在一個非常小的包裝中達到最大效率而建造的，在生產過程中保持高度的均勻性，並在選定的工藝參數內可靠運行。
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