二手THERMCO 5000待售

THERMCO 5000
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THERMCO 5000 #9060160

THERMCO

5000

LPCVD Furnace, 6"- 8" Process: USG-BPSG PolySi Si3N4 Gases: N2 NH3 PH3 SiH4 SiH2Cl2* O2.
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