二手 BROOKS AUTOMATİON Magnatran 7 #293809901 待售

BROOKS AUTOMATION ATR-8 Wafer Handler是一個高性能、功能齊全的自動化系統,旨在促進對大面積晶片和基板進行高效、精確和可靠的處理。該系統包括一個專有的真空輸送機系統，可容納八個直徑8英寸的晶片或四個直徑12英寸的晶片，從而能夠快速交換傳統的無包裝晶片。BROOKS AUTOMATION ATR8的模塊化設計允許配置多達四個標準子系統,包括真空傳輸模塊、控制器接口模塊、機器人真空傳輸模塊和運動控制模塊。每個模塊都能夠處理和/或連接到其他模塊。真空傳輸模塊設計用於一次拾取多個晶片並將其放置到控制器接口模塊中進行進一步處理。控制器接口模塊包含專用電子設備，操作員可以對其進行編程，以控制機器人和真空階段。它還充當其他模塊的接口,將指令傳遞給每個模塊,並在必要時返回到真空傳輸模塊。機器人真空傳輸模塊是一種專門的伺服驅動設備，在將晶片從真空傳輸模塊移動到運動控制模塊的同時，對晶片進行連續操作。在位置反饋傳感器的幫助下，機器人每次都能確保晶片的精確放置和運動。最後，運動控制模塊負責通過提供沿著X和Y軸的精確運動來控制晶片的運動，從而實現最佳定位。此模塊自動調整晶片沿傳送帶移動時的速度和加速度。ATR-8是自動化應用的理想晶圓處理程序，其中速度、可靠性和精度至關重要。將機器人的力量與位置傳感器的精確度相結合，設計成服務於廣泛的行業，其模塊化設計允許最多四個子系統的定制配置。憑借其復雜而簡單的體系結構,ATR8是幫助簡化自動化過程的絕佳選擇。