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Robot P/N: 201600-11R PCB Boards.
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Robot driver Part number: 002-1500-02 Arm set P/N: 002-0016-16.
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Robot Part number: 201600-01 V2 Driver.
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Robot, 8" P/N: 003-1600-25.
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Robot Part number: 003-1600-07 002-0016-04 Arm set.
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Robot Includes: Qty Description Part number (1) LAM 4520XLe TM Robot 003-1600-36 (2) LAM 45
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Wafer transfer robots P/N: 003-1600-25.
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