二手 BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 #293819882 待售
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BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 Wafer Handler是一款最先進的機器人處理器,旨在以盡可能高的吞吐量執行芯片級晶圓自動化和測試。其7軸機械臂可靈活、精確地處理300 mm以下的晶片。機器人是為最高精度和控制水平而設計的,允許用戶精確定位和精確傳輸晶圓。結果是晶片汙染最小化,以及處理不當造成的破碎晶片減少。此外,Magnatran 7還提供了無與倫比的吞吐量改進和靈活性。它為薄膜沈積和晶圓集成過程提供了先進的工藝控制,使其能夠處理大量並發操作,從而提供了顯著的上市時間優勢。機器人還配備了一個內置優化模塊,該模塊根據一組自定義的定義標準動態調整工藝參數,以達到最優晶圓傳輸結果。此自適應方法可提高一致性,並確保快速解決任何單個故障。此外,BROOKS AUTOMATION Magnatran 7還具有以晶圓為中心的對準精度,並在多個晶圓厚度上提高到超細0.2um的可重復性。此外,Magnatran 7還提供了一套安全功能來保護機械臂和環境。其E-Stop Suite包括手動緊急停止開關系統,以及可以在晶圓處理過程的監控區域設置的緊急停止按鈕。還包括一個臂端互鎖的外圍晶片處理系統,確保機器人不會侵入周邊,對任何旁觀者造成傷害。此外,機器人的設計沒有裸露的緊固件和硬擋塊,以盡量減少可能的手指或工具夾住。最後,BROOKS AUTOMATION Magnatran 7易於安裝和維護。所有組件都包裝在堅固的鈑金外殼中,並安裝在堅固耐振的流道上。集成的HMI提供簡單直觀的控制,包括用於監控人體工程學性能和系統更改的直觀圖形用戶界面。模塊化設計使維護變得容易,並且在需要故障排除時能夠卸下任何組件。Magnatran 7 Wafer Handler是為最高吞吐量性能和安全性而設計的先進機器人處理程序。它的7軸臂允許高達300 mm的晶圓操控,具有超細0.2um的可重復性以實現高精度操作。機器人還易於安裝和維護,使其成為任何芯片級晶圓自動化和測試需求的理想選擇。
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