二手 BROOKS AUTOMATION Magnatran 7 #9082680 待售

ID: 9082680
Robot.
BROOKS AUTOMATION Magnatran 7(MT7)是一個高性能、自動化的晶圓處理平臺,旨在最大限度地提高生產吞吐量和產量。它提供了擴展的網頁深度和現場可更換的晶圓處理技術。它旨在快速、準確地將晶片移入和移出深層處理系統,同時在過程中提供靈活性。該設備基於該公司獲得專利的「Magnatran」技術,這是一種機器人晶圓處理的綜合解決方案。這項技術使用機器人運動、網狀幾何和光學控制系統的組合來跟蹤晶片通過系統的運動。該MT7包括底架、機械臂、晶片處理旋轉木馬、直線電機(用於移動晶片處理旋轉木馬)、光學晶片檢測、晶片處理窗口和觸摸屏界面。MT7的底架為單元的其他組件提供機械支撐。機械臂由多個關節組成,負責操縱旋轉木馬周圍的晶片。旋轉木馬由幾個貨架組成,這些貨架上有晶片。直線電動機用於控制和驅動旋轉木馬從一端到另一端的運動。它采用三相永磁直驅直線電動機,行程範圍可達兩米。這種電動機允許旋轉木馬在機器的各個區域之間移動,例如晶圓裝卸區域。位於旋轉木馬內的光學晶片檢測工具負責監測晶片在資產中移動時的進展並提供反饋。這是通過使用光源和照相機來實現的。該MT7設有晶片處理窗口,這是一個高度專業化的設備,用於從旋轉木馬裝卸晶片。它采用自動化的彎曲設計,產生真空,將晶片從旋轉木馬中拉出並傳遞到所需的目的地。最後,MT7還設有觸摸屏用戶界面。這為用戶提供了一個直觀易用的平臺,從該平臺可以訪問和控制模型的各種功能。Magnatran 7提供了一種高效可靠的晶圓運輸手段。它提供了靈活性、可擴展性和一系列功能,以適應各種晶圓處理設備。該設備旨在確保晶片在過程的各個階段快速準確地移動,同時最大限度地提高吞吐量和產量。
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