二手 ACCORD M-400 #9223538 待售

ID: 9223538
Substrate cleaner.
ACCORD 400是一種用於半導體制造的晶圓和掩模洗滌器。它專為高吞吐量而設計,提供高達30晶圓/小時的速度。400具有可調的刷徑,以容納50毫米至200毫米的各種晶圓尺寸。洗滌器有一個電子棒,它允許精確、均勻的洗滌動作.洗滌器采用安全半徑設計,為操作員增加保護,同時也將晶圓或掩模受到汙染的風險降至最低。洗滌器還配備了紫外線燈,有助於進一步降低汙染率。洗滌器的頂部面板提供對洗滌頭的訪問,使操作員能夠快速輕松地更換刷子。洗滌器利用一種特殊的環境被稱為「稀有氣體」環境。洗滌器能夠不間斷地以高純度稀有氣體提供清潔、低除塵、無氧的環境,並不斷從真空室中清除顆粒。與油基洗滌系統相比,稀有氣體提供了無與倫比的顆粒去除水平。洗滌器還包括一個靜態耗散塗層以最小化靜態電荷,這可以建立在晶圓或掩模表面。化學分散設備便於選擇可用於不同工藝的化學品。洗滌器還提供了一個排塵系統,從清潔的表面除去顆粒。ACCORD 400是一種高效、可靠的晶圓和掩模洗滌器。其可調的刷道和先進的技術提供了卓越的汙染預防和清潔效率。洗滌器的設計考慮到安全性,為操作員提供安全半徑和紫外線,以進一步保護他們免受汙染。此外,洗滌器提供了一個靜態耗散塗層、一個化學分散單元和一個排塵機,以防止顆粒殘留在洗滌過的表面上。這樣可確保擦洗後的表面保持清潔和無汙染。
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