二手 ACCRETECH / TSK A-CS-100A #9238103 待售

ACCRETECH/TSK A-CS-100A Wafer&Mask Scrubber是一種用於半導體器件生產中清洗和蝕刻的機器。機器由裝有晶片的旋轉室和擦洗晶片表面的擦洗臂組成。洗滌臂安裝在自動臂上，該自動臂將清潔晶片壓縮到旋轉室上。腔室的旋轉產生擦洗運動，從晶片表面去除顆粒和氧化物層。清洗過程從將晶片放在洗滌臂上開始。洗滌臂接著進行一系列的通路，將磨料漿料混合物施加到晶圓表面。泥漿混合物與超聲波活化源結合，作用是從晶圓表面松開和去除顆粒、氧化物和其他殘留物。清洗過程中使用的液體被排出，換成最後的清洗溶液。這是這個過程的一個重要階段，因為它可以沖洗掉晶圓表面殘留的殘留物。任何多余的液體也被收集和儲存以再利用。洗滌臂由兩個獨立的部件組成-刷子組件和磨料墊子。刷子組件由柔性刷毛組成，這些刷毛以快速、垂直的方式移動，從而產生積極的擦洗效果。磨料墊由矽膠基材料組成，磨損值非常低，不會損壞細膩的晶片表面。洗滌臂與控制洗滌臂運動速度和方向的I/O設備相連。該系統的設置是為了控制操作，以便有效地清潔晶片表面而不會損壞它。洗滌臂在晶片經過充分清洗後縮回，然後從腔室卸下零件。TSK A-CS-100A Wafer&Mask Scrubber是一種用於半導體生產清洗晶片的可靠高效的機器。該機設計為提供高質量的結果，對晶圓表面的損傷最小，從而使半導體器件的操作更加可靠。利用其自動化控制裝置，機器可以快速高效地清理各種晶片結構。該機利用強大的洗滌機，結合超聲波活化源和研磨墊，去除晶圓表面的顆粒和氧化物，使其成為半導體器件生產過程中的寶貴工具。