二手 ATMI / ECOSYS Vector Ultra 3000 #9061874 待售

ID: 9061874
Gas Abatement System.
ATMI/ECOSYS Vector Ultra 3000是設計用於半導體生產過程的晶圓和掩模洗滌器。它能夠在各種晶圓和掩模尺寸上快速高效地執行表面清潔任務。ATMI Vector Ultra 3000采用了超聲波振動和噴霧洗滌技術的獨特組合,允許徹底清潔操作,對基板的損害最小。這種先進的晶片和掩模洗滌器非常適合半導體晶片和掩模制造的苛刻環境,具有良好的清潔作用,最小的停機時間或磨損、蝕刻或變形的風險。ECOSYS Vector Ultra 3000采用三階段清潔工藝,以確保最佳的表面清潔效果。在第一階段,洗滌器中填充有一溶液的肥皂水,確保所有要清洗的表面都被預先浸泡。第二階段利用超聲波振動過程攪動表面,分解可能存在於物質深處的土壤和顆粒。第三個也是最後一個階段是噴霧洗滌過程,確保所有的土壤和顆粒都被輕輕噴灑溶液沖走。這一過程使表面完全清潔,不受汙染。Vector Ultra 3000設計用於清潔所有類型的晶片,從直徑最大為200 mm的扁平晶片到bin分割晶片和二進制編碼晶片。洗滌器配有兩個柔性噴霧臂,允許清洗各種晶圓和掩模形狀配置。洗滌器還具有可調節的噴霧壓力設置,可以清潔粗糙的表面顆粒或頑固的殘留物。ATMI/ECOSYS Vector Ultra 3000還包含一個全面的安全系統,它可以防止任何潛在的危險物質進入單元。ATMI Vector Ultra 3000的所有組件均采用高品位、耐腐蝕的材料制造,確保了長而可靠的使用壽命。洗滌器設計為模塊化,易於集成到現有的生產過程中,從而減少了停機時間和安裝中斷。ECOSYS Vector Ultra 3000完全自動化,能夠獨立於任何外部輸入而運行,為半導體行業提供了一個高效、經濟高效的清潔解決方案。
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