二手 BOC EDWARDS System #9038519 待售
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BOC EDWARDS Equipment是一種晶圓和掩模洗滌器,旨在高效清潔來自半導體級晶圓和掩模的各種表面汙染物。系統包括一系列噴射噴霧、熱水箱和化學集中器,將自來水轉化為去離子水。一次最多可清理20個晶圓或12個口罩,清洗周期時間不到17分鐘。BOC EDWARDS單元從噴射噴霧區開始,使用多達10個清潔噴嘴。該區域旨在完全清除所有類型的汙垢、砂礫、灰塵和其他表面殘留物。晶片和掩模在噴射噴霧下通過,噴射噴霧經過精心設計,以確保最大覆蓋範圍。噴射噴霧區之後是一個自動熱水箱。它用於進一步清潔和沖洗殘留的殘留物。這個水箱還配備了循環水泵,以不斷消失水中的化學濃度。然後,機器移動到化學選礦廠,在那裏,超過濾的自來水被轉化為無化學物質的去離子水。這些水經過預熱,然後泵回熱水箱。從那裏,晶片和口罩被運到氣刀烘幹機。這款烘幹機利用高速連續氣流徹底幹燥晶片和口罩,使它們沒有水分。中銀愛德華茲工具的最後階段是臭氧沖洗模塊。本模塊將臭氧(O3)引入Asset, Asset可作為除霧劑,同時提供額外的清潔度。它破壞細菌和有機化合物,同時提供額外的衛生益處。為確保BOC EDWARDS模型在運行過程中的安全性和效率,提供了一個可編程邏輯控制器(PLC)。這樣可以方便地進行故障排除、自動化的數據記錄設備和方便的遠程監控。為了進一步提高安全性,中銀愛德華茲系統還配備了一個車載計算機控制單元,用於報警和覆蓋功能。BOC EDWARDS Machine是一款高效、可靠、易於使用的晶圓和掩模洗滌器,適合多種應用。通過組合一系列強大的噴射噴霧、熱水箱、化學集中器和臭氧沖洗模塊,Tool能夠在不到17分鐘的時間內清理多達20個晶圓或12個面膜,同時避免不必要的殘留。此外,自動車載計算機控制還增加了一層額外的安全性和安全性,同時還使故障排除和遠程監控操作變得更加容易。
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