二手 C-SUN PRS #9271179 待售
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ID: 9271179
優質的: 2010
Scrubber
Material of chamber: Aluminum alloy whit surface treatment
Inner chamber: Ø 380 mm x H 305 mm
Application of solar cell:
Edge isolation
Texture
Inductively Coupled Plasma (ICP) source
RF Generator: 13.56 MHz, 1000 W
Standard gas: O2
Gas flow control: Analog type MFC
Dry pump: >150 m³ / hr
Base pressure: >10^-2 Torr
Process pressure: 50~200 m Torr
Automatic system: 15" TFT Panel / IPC / Windows 2000 XP
2010 vintage.
C-SUN PRS是一種晶圓和掩模洗滌器，設計用於半導體制造實驗室。它使用強烈的清潔劑稀釋水-空氣混合物溶解晶圓和掩模表面存在的顆粒和汙染物。洗滌器不僅去除顆粒，而且提供有效的脫脂恢復表面，以其預期的表面化學。PRS是一種使用平臺式洗滌器的加固設備。其巨大的漏鬥容量允許多達45個晶圓和多達三個掩模在一個周期內進行處理。C-SUN PRS配備了可調節的噴嘴和噴頭，以精確輸送清潔溶液。洗滌器的循環系統確保清潔溶液不斷循環，即使存在致密顆粒也能提供均勻的清洗。此外，一個強大的泵用於註入高壓液體的晶片和掩模，有效地驅除頑固的顆粒。該裝置裝在一個不銹鋼外殼中，帶有一個寬開口的蓋子，便於使用，以便對組件進行快速和清晰的視覺檢查。它在415V時以三相電源運行,能夠運行2000多個周期和200個連續使用小時。對水和洗滌劑進行自動監控，確保其含量不會過高或過低。可選的集成過濾機還允許PRS從循環清洗溶液中消除溶解的顆粒，提高其有效性。C-SUN PRS是一個完全自動化的工具，為其運營商提供更大的靈活性和便利。PRS在整個清潔周期中運行,無需在加載晶片和口罩後進行進一步幹預或調整。它還配備了用戶友好的軟件，允許用戶以方便直觀的數據采集來監控和控制其參數。C-SUN PRS在除粒、清潔、成本效益等方面符合業界的嚴格標準。其堅固的構造使其不易磨損，自動化功能使其性價比高，易於使用。其用戶友好的軟件和開闊的蓋子設計使其成為尋找可靠、精確晶圓和掩模洗滌器的半導體制造實驗室的絕佳選擇。
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