二手 C-SUN PRS #9283776 待售

製造商
C-SUN
模型
PRS
ID: 9283776
優質的: 2010
Scrubber Material of chamber: Aluminum alloy whit surface treatment Inner chamber: Ø 380 mm x H 305 mm Application of solar cell: Edge isolation Texture Inductively Coupled Plasma (ICP) source RF Generator: 13.56 MHz, 1000 W Standard gas: O2 Gas flow control: Analog type MFC Dry pump: >150 m³ / hr Base pressure: >10^-2 Torr Process pressure: 50~200 m Torr Automatic system: 15" TFT Panel / IPC / Windows 2000 XP 2010 vintage.
C-SUN PRS是一種自動化晶片和掩模洗滌器,旨在為半導體制造提供先進的清潔、高效的晶片邊緣汙染去除和邊緣珠子重新設計應用。PRS是一種雙單元設備,能夠並行執行兩種操作,從而最大限度地減少了總工藝時間,提高了成本效率,同時達到了產量和工藝質量的最高行業標準。C-SUN PRS采用機械刷牙和晶片邊緣清潔技術相結合,提供一流的晶片邊緣汙染去除。專門設計的晶片邊緣模板可幫助工程師控制畫筆長度並精確控制清理角度,以減少暴露事件或事故。有各種可定制的刷牙壓力設置,設備可以輕松調整刷子速度和壓力根據模具尺寸和類型。符合人體工程學和直觀的設計使操作員能夠以更高的精度和安全性快速執行晶片邊緣清潔操作。PRS還包括先進的面膜洗滌技術,它允許快速和完全去除任何顆粒物,即使是最麻煩的殘留物。拋光的晶片表面隨後通過專門設計的化學反應器,以去除殘留的材料和汙染物。自動化學分析功能有助於操作員快速識別最合適的清洗溶液,同時優化的溫度和濕度控制確保晶圓的最佳性能和收率。C-SUN PRS附帶了一系列旨在最大化吞吐量和增加便利性的高級功能,例如用於跟蹤從機器啟動到完全單元關閉過程的集成RFID系統。可選的自動墨盒更換機允許晶片邊緣和掩模清潔操作之間快速輕松切換,使操作員無需人工幹預即可完成任務。PRS提供了一系列完全集成的用於晶片清洗、Edge ReDesign和掩模擦洗的軟件工具,提供了在制造前後保持清潔和功能性晶片的高效且經濟高效的方法。從簡單的維護用戶到先進的邊緣維護用戶,這種自動化的晶圓和掩模洗滌器是實現最高產量和質量的理想選擇。
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