二手 CONVAC DSS 200 #9053125 待售

ID: 9053125
晶圓大小: 8"
Scrubbers, 8" Double-sided Stainless steel.
CONVAC DSS 200是一種晶圓和掩模洗滌器,設計用於半導體器件制造設施。它是一個獨立的單元,通常直接放在潔凈室入口前面或潔凈室本身。DSS 200采用雙級洗滌工藝,可在晶片和面膜(模版、薄膜、鏡框、光盤和條帶)進入潔凈室之前有效地進行清潔。洗滌過程的第一階段利用裝入設備的化學片劑,這些片劑儲存在可移動抽屜中。化學藥片慢慢釋放到內室,這會導致模擬的陣雨到內部的組件上。這種淋浴可以清除晶片或面罩中的灰塵、汙垢和其他汙染物,這些汙染物會在潔凈室環境中造成汙染。洗滌工藝的第二階段采用雙面洗滌塊。該塊用一種特殊的清潔化合物處理,使其能夠輕松地除去第一階段化學煙霧中未除去的任何汙染物或殘留物。該塊在晶片或掩模上旋轉,同時噴射產生真空,將碎屑從表面移出,使其進入收集箱。完成洗滌周期後,將停用CONVAC DSS 200,然後打開門以檢索已清潔的組件。然後可以騰空設備,然後使其幹燥以用於下一個清潔周期。DSS 200是改善半導體器件制造設施中潔凈室環境的可靠、高效和經濟高效的方法。除了提供卓越的清潔服務外,CONVAC DSS 200還通過減少工作人員在額外清潔和維護上花費的時間來幫助控制成本。
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