二手 CS ENG CTS 5500 #9373016 待售

CS ENG CTS 5500是一種晶圓和掩模洗滌器設備，設計用於自動化和增強半導體生產過程中使用的圖樣晶圓和掩模的清潔。該系統能夠清洗廣泛的基材材料和形狀，如圓形、矩形和不對稱晶片，以及矩形和熨鬥。CTS 5500單元采用雙洗滌器配置，一側為高速高效洗滌器，用於較大的晶片，另一側為較小的晶片，使用速度較慢、功率較大的洗滌器。這種雙面擦洗工藝可以更好地覆蓋晶片和蒙版區域,同時降低損壞圖樣特征的風險。CS ENG CTS 5500配備了使用高技能、直觀編程的Surface Plate Detection機，使洗滌器能夠檢測和瞄準晶圓和掩模上的亞微米粒子。這種先進的工具可確保晶圓和掩模表面的完全清潔,而不需要人工幹預。此外,CTS 5500還包括內置的聲音優化真空設備和集成的Cool Jet Siphon,可幫助保護晶片和掩模免受擦洗摩擦造成的過熱和潛在損壞。CS ENG CTS 5500型號提供了完全集成的過程控制設備,具有用戶友好和直觀的圖形用戶界面（GUI）。此GUI使用戶可以輕松配置洗滌器參數、監控洗滌器性能,並輕松控制整個晶圓和面膜清潔幹燥過程。該系統還附帶了幾種標準配方，可根據需要使用和修改。CTS 5500是一個堅固、可靠、高效的洗滌器單元,它為晶片和掩模提供了一個完整的洗滌器解決方案。它具有清潔各種基材形狀和尺寸的能力，其先進的洗滌技術確保了每個晶片和掩模表面的完整、一致和有效的清潔。CS ENG CTS 5500刀具具有用戶友好的GUI和集成的過程控制機床,是提高清潔效果、最大限度降低時間和能源成本的理想選擇。