二手 CSK HEATS-05 #293647981 待售

CSK HEATS-05是為清潔半導體器件而設計的高效自動晶片和掩模洗滌器設備。該系統是CSK Heats系列洗滌器的一部分，用於半導體器件制造。該裝置采用低真空清洗工藝，利用電離空氣清除晶片和口罩中的汙染物。這一過程能夠除去任何低至20nm的顆粒，這使得從裝置表面除去顆粒是有效的。該工藝還可以在固化和光刻之前對粗糙或劃痕的表面進行出色的清潔。該機主要由三個部分組成：一個壓板、一個真空室和一個電源。壓板是一種防輻射鋁工作表面，由內置加熱器加熱到所需溫度。真空室設計成循環吸入工具中的空氣，而電源則為資產供電。壓板上裝有兩個晶圓墊和四個擦洗頭，這些擦洗頭在晶圓或面膜表面移動以進行清潔。可以將壓板加熱至200 °C的最高溫度，以便有效清洗。經過電離空氣處理後，將晶片放在壓板上進行幹燥，並用紫外線或激光進行固化或光刻處理。模型能夠處理晶片或蒙版，最大尺寸為8 「x 10」，最長循環時間為60秒。HEATS-05提供了一個一致和可靠的清潔過程，易於操作，並提供了晶片和口罩的安全清潔。設備與廣泛的器件制造工藝兼容，使其成為任何半導體器件制造商的絕佳選擇。